XY轴采用三相无铁芯电机，德国力士乐精密级导轨，
RENISHAW 0.1um光栅

X轴电机额定推力60N，峰值推力210N

直线度≤10um

最大加速度(3kg+5kg自重)3G

重复定位精度：±0.5um

定位精度：≤±5um(效准值)

Y轴电机额定推力90N(单边)，峰值推力315N

直线度≤10um

最大加速度(50kg)：630/50~2G

重复定位精度：±1um

定位精度：≤±5um(X轴居中测量校准值)

Z轴闭环步进电机， THK丝杆+THK导轨

重复定位精度：±1.5um

底座、Y轴基座以及X轴横梁皆为花岗岩

下机架以及隔振系统为选配件：

推荐德国b liz气囊隔振垫